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電爐真空系統(tǒng)如何操作 低真空電阻爐的真空系統(tǒng)，只有機(jī)械泵或由機(jī)械泵與羅茨泵組成的機(jī)組，操作相對比較簡單。真空電阻爐從大氣狀態(tài)抽到工作真空度，真空系統(tǒng)的操作主要分四步： 1、 羅茨泵啟動。打開前級閥，關(guān)閉主閥和預(yù)抽閥，用按鈕啟動機(jī)械泵，當(dāng)?shù)驼婵找?guī)管2測量的真空度高于羅茨泵入口真空度時，比如小于2kPa，啟動羅茨泵。 2、 預(yù)熱擴(kuò)散泵。主閥和預(yù)抽閥仍處于關(guān)閉狀態(tài)，前級泵機(jī)組對擴(kuò)散泵抽真空，當(dāng)?shù)驼婵找?guī)管2測量擴(kuò)散泵前級真空度高于規(guī)定值時，比如小于7Pa,啟動擴(kuò)散泵加熱器。 3、 預(yù)抽爐內(nèi)真空。先關(guān)前級閥，并停止羅茨泵，稍后打開預(yù)抽閥對爐內(nèi)抽真空。爐內(nèi)真空度抽到高于羅茨泵入口真空度時，再啟動羅茨泵。前級泵機(jī)組對爐內(nèi)抽氣，使之達(dá)到預(yù)抽真空度。 4、 抽高真空。爐內(nèi)真空度達(dá)到或高于規(guī)定值，且擴(kuò)散泵加熱時間到，先關(guān)預(yù)抽閥，然后開高真空閥，對爐內(nèi)抽高真空，直到高真空規(guī)管測得的爐內(nèi)真空度達(dá)到或高于工作真空度，才進(jìn)行下一步操作。 真空系統(tǒng)的關(guān)閉步驟相對比較簡單，當(dāng)爐子溫度減低到可關(guān)真空系統(tǒng)的要求時，關(guān)閉主閥，接著關(guān)閉擴(kuò)散泵加熱器，但前級閥不能關(guān)閉，前級泵機(jī)組仍然工作，直到擴(kuò)散泵加熱器冷卻時間到，才依次關(guān)閉前級閥和前級泵機(jī)組。
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