晶圓退火真空爐 真空氣氛燒結(jié)爐 氧化鋯真空爐
產(chǎn)品名稱：晶圓退火真空爐 真空氣氛燒結(jié)爐 氧化鋯真空爐
一．概述
晶圓退火真空爐 真空氣氛燒結(jié)爐 氧化鋯真空爐，主要以抽完真空后通入保護氣氛進行高溫處理的設(shè)備，以抽真空形式快速把爐內(nèi)空氣置換，以減少爐內(nèi)氧含量，并節(jié)省保護氣。本爐主要適用于小批量生產(chǎn)，利用人工把產(chǎn)品放入爐腔內(nèi)燒結(jié)之用，具有 使用靈活性高等優(yōu)點。
二、主要參數(shù)
型 號：BXZQ-54-16
爐腔尺寸：700*400*430mm（深X寬X高）
使用氣氛：氮氣、氬氣（正壓＜0.04Mpa下使用）
使用方法：預(yù)抽真空后通入氣體保護燒結(jié)
額定功率：≈54KW（實際功率由儀表根據(jù)熱損耗自動控制調(diào)節(jié)）
電 壓：380V
額定溫度：1600℃
控制方式：可控硅移相調(diào)壓
報警保護：超溫、斷偶報警保護
溫控儀表：智能PID調(diào)節(jié)，30段可編程式控溫曲線（全自動升、降、保溫）
分度號：采用B分度鉑銠熱電偶
真空泵：旋片式真空泵
加熱溫區(qū)：1個溫度區(qū)域單獨控制
加熱元件：硅鉬棒
注：晶圓退火真空爐 真空氣氛燒結(jié)爐 氧化鋯真空爐等其他型號規(guī)格可以根據(jù)用戶實際需求設(shè)計，價格僅參考，歡迎咨詢詳談：0510-87195028 18888033558 吳經(jīng)理。